MICROTERMÓMETRO INTERFEROMÉTRICO ROBUSTO DE AMPLIO RANGO DINÁMICO Y MÉTODO DE FABRICACIÓN

Microtermómetro interferométrico robusto de amplio rango dinámico y método de fabricación

Nº Solicitud: P202430218 | Fecha solicitud: 22/03/2024

Enlace a la invención 

Invención de:

Daniel Carrasco Madrigal

Emilio Nogales Díaz

Bianchi Méndez Martín

Manuel Alonso Orts

Ruben Johannes Theodorus Neelissen

Martin Eickhoff

Titulares:

Universidad Complutense de Madrid

Resumen

La termometría basada en mecanismos ópticos de transducción ofrece ventajas respecto a otras técnicas termométricas pero existen ciertos obstáculos relacionados con la reproducibilidad y la fiabilidad que han impedido, hasta ahora, su uso generalizado. Se presenta un microtermómetro basado en nanohilos o microhilos de Ga2O3:Cr caracterizado porque toda la estructura está recubierta por una lámina compuesta por una capa de Al2O3 y por una estructura nanométrica DBR formada por dos óxidos transparentes u otro material de bajo índice de refracción. El microtermómetro mide la temperatura de modo sencillo mediante un mecanismo de transducción dual, luminiscente e interferométrico, robusto, preciso, fiable, que puede operar en un amplio rango de temperaturas y en condiciones adversas, y que puede integrase en un microdispositivo, ya que su método de fabricación permite obtener una estructura robusta sobre un sustrato masivo convencional como el silicio.

Esquema de la estructura y la operación del microtermómetro
Esquema de la estructura y la operación del microtermómetro: (a) sustrato masivo, (b) estructura DBR, (c) Lámina compuesta de un material de bajo índice de refracción que permita guiar la luz emitida por los nanohilos o microhilos (d) nanohilos o microhilos; (e) Lámina depositada tras deposición de nanohilos o microhilos, 25 compuesta de un material de bajo índice de refracción que permita guiar la luz emitida por los nanohilos o microhilos; (f) estructura DBR tras deposición de nanohilos o microhilos; (g) láser; (h) luz guiada; (i) objetivo; (j) punto de excitación del microhilo; (k) punto de recolección.

Sector de la técnica

La presente invención se refiere a la fabricación y funcionamiento de un sistema para la medida de temperatura en remoto. De forma más concreta se refiere a un microtermómetro basado en fenómenos de interferencia óptica, de aplicación en campos como la atención sanitaria, dispositivos electrónicos, sector aeroespacial o medioambiente.


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