MICROTERMÓMETRO INTERFEROMÉTRICO ROBUSTO DE AMPLIO RANGO DINÁMICO Y MÉTODO DE FABRICACIÓN
Microtermómetro interferométrico robusto de amplio rango dinámico y método de fabricación
Nº Solicitud: P202430218 | Fecha solicitud: 22/03/2024
Invención de:
Daniel Carrasco Madrigal
Emilio Nogales Díaz
Bianchi Méndez Martín
Manuel Alonso Orts
Ruben Johannes Theodorus Neelissen
Martin Eickhoff
Titulares:
Universidad Complutense de Madrid
Resumen
La termometría basada en mecanismos ópticos de transducción ofrece ventajas respecto a otras técnicas termométricas pero existen ciertos obstáculos relacionados con la reproducibilidad y la fiabilidad que han impedido, hasta ahora, su uso generalizado. Se presenta un microtermómetro basado en nanohilos o microhilos de Ga2O3:Cr caracterizado porque toda la estructura está recubierta por una lámina compuesta por una capa de Al2O3 y por una estructura nanométrica DBR formada por dos óxidos transparentes u otro material de bajo índice de refracción. El microtermómetro mide la temperatura de modo sencillo mediante un mecanismo de transducción dual, luminiscente e interferométrico, robusto, preciso, fiable, que puede operar en un amplio rango de temperaturas y en condiciones adversas, y que puede integrase en un microdispositivo, ya que su método de fabricación permite obtener una estructura robusta sobre un sustrato masivo convencional como el silicio.
Sector de la técnica
La presente invención se refiere a la fabricación y funcionamiento de un sistema para la medida de temperatura en remoto. De forma más concreta se refiere a un microtermómetro basado en fenómenos de interferencia óptica, de aplicación en campos como la atención sanitaria, dispositivos electrónicos, sector aeroespacial o medioambiente.
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